一種氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921010587.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210656165U | 公開（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210656165U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-02 |
| 分類號(hào) | C01B23/00(2006.01)I | 分類 | 無機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 王志高;吳海雷;馬傳龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州睿分電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 蘇州睿分電子科技有限公司 |
| 地址 | 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城中北區(qū)23幢綜合樓214室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)，所述的氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)按照氦氣流向包括依次連接供氣裝置和循環(huán)單元；所述的循環(huán)單元包括閉環(huán)循環(huán)連接的高壓罐、用氣設(shè)備、低壓罐和壓縮機(jī)，所述供氣裝置連接高壓罐的進(jìn)氣口；所述的氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)還包括純化單元，所述純化單元的進(jìn)氣口和出氣口分別連接高壓罐的出氣口和低壓罐的進(jìn)氣口。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種新型的氦氣循環(huán)工藝，利用高壓罐和低壓罐之間的壓差作為氦氣流動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力，通過純化單元進(jìn)行實(shí)時(shí)純化。相對(duì)于集中回收，間歇純化，本實(shí)用新型提供的循環(huán)純化系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)的過濾純化，對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的改造較小、能耗和投資成本較低、氦氣純度維持穩(wěn)定等多種優(yōu)勢(shì)。?? |
