一種氦氣的循環(huán)純化系統(tǒng)及循環(huán)純化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910583628.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110203895A 公開（公告）日 2019-09-06
申請公布號 CN110203895A 申請公布日 2019-09-06
分類號 C01B23/00（2006.01）I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 王志高; 吳海雷; 馬傳龍 申請（專利權(quán)）人 蘇州睿分電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 蘇州睿分電子科技有限公司
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城中北區(qū)23幢綜合樓214室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)及方法，所述的氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)按照氦氣流向包括依次連接供氣裝置和循環(huán)單元；所述的循環(huán)單元包括閉環(huán)循環(huán)連接的高壓罐、用氣設(shè)備、低壓罐和壓縮機，所述供氣裝置連接高壓罐的進氣口；所述的氦氣循環(huán)純化系統(tǒng)還包括純化單元，所述純化單元的進氣口和出氣口分別連接高壓罐的出氣口和低壓罐的進氣口。本發(fā)明設(shè)計了一種新型的氦氣循環(huán)工藝，利用高壓罐和低壓罐之間的壓差作為氦氣流動的驅(qū)動力，通過純化單元進行實時純化。相對于集中回收，間歇純化，本發(fā)明提供的循環(huán)純化系統(tǒng)可以實現(xiàn)實時的過濾純化，對現(xiàn)有設(shè)備的改造較小、能耗和投資成本較低、氦氣純度維持穩(wěn)定等多種優(yōu)勢。