一種自BOG中分離純化氫與氦的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020076879.9 申請日 -
公開(公告)號 CN211946255U 公開(公告)日 2020-11-17
申請公布號 CN211946255U 申請公布日 2020-11-17
分類號 C01B3/50(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 王志高;高穎;吳海雷;馬傳龍 申請(專利權(quán))人 蘇州睿分電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 蘇州睿分電子科技有限公司
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城中北區(qū)23幢綜合樓214室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種自BOG中分離純化氫與氦的系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括依次連接的膜分離單元與吸附分離單元;所述膜分離單元包括依次連接的初級膜分離裝置與深度膜分離裝置;所述吸附分離單元包括串聯(lián)連接的變壓吸附單元與氫氦分離純化單元。本方案開創(chuàng)性的實用新型了結(jié)合了膜分離與吸附分離等技術(shù),實現(xiàn)了氦氣和氫氣從BOG中高效提取分離并分別純化到電子級純度。相對于現(xiàn)有技術(shù),本實用新型大幅減少了能耗、縮短了系統(tǒng)流程,實現(xiàn)了模塊化組合,從而提高了應(yīng)用的靈活性。??