防止硅片粘連的硅片承載器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020312591.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211670179U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211670179U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 劉哲偉;馬南;李海楠;李佳;張寶慶;朱道峰;要博卿;王慧杰;李向東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京市塑料研究所有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 呂偉盼 |
| 地址 | 100031北京市西城區(qū)舊鼓樓大街47號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及硅片承載工具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種防止硅片粘連的硅片承載器，包括承載器框架，所述承載器框架的立面設(shè)有多個(gè)縱向齒，相鄰的縱向齒之間形成縱向卡位，所述承載器框架的底部設(shè)有多個(gè)卡槽；所述卡槽與所述縱向卡位一一對(duì)應(yīng)，多個(gè)所述卡槽的最低點(diǎn)均靠近其所對(duì)應(yīng)的所述縱向卡位的縱向中心的相同一側(cè)。本實(shí)用新型提供的防止硅片粘連的硅片承載器，由于多個(gè)卡槽的最低點(diǎn)均靠近其所對(duì)應(yīng)的縱向卡位的縱向中心的相同一側(cè)，因而在該防止硅片粘連的硅片承載器被提升或移動(dòng)的過(guò)程中，硅片能夠在卡槽中向最低點(diǎn)滑移，使多個(gè)硅片向一個(gè)方向傾斜，避免無(wú)序排列，從而解決多個(gè)硅片間容易粘連的問(wèn)題。?? |
