一種疏水快干型硅片承載器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811316825.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110176421A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN110176421A 申請公布日 2021-07-02
分類號 H01L21/673;B82Y40/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉哲偉;朱道峰;王國華;陸長征;張寶慶;李海楠;馬南;胡笑巖;肖雪 申請（專利權）人 北京市塑料研究所有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100009 北京市西城區(qū)舊鼓樓大街47號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及制備技術領域，特別涉及一種表面疏水，能夠被快速干燥的硅片承載器及其制備方法。本發(fā)明公開了一種疏水快干型硅片承載器及其制備方法，所述疏水快干功能以在承載器表面制造出微納結構來實現(xiàn)，所述微納結構制造方法為：在52～97.5份聚偏氟乙烯樹脂中加入1～30份碳纖維，1～10份炭黑，0.5～8份石墨烯，混合后，經(jīng)雙螺桿擠出，造粒，并以所造粒子為原料，經(jīng)注射或擠出成型，所用注射模具表面經(jīng)刻蝕處理，形成合適的粗糙表面。硅片承載器可以經(jīng)過注射一次成型，也可以經(jīng)過焊接、組裝成型。制備的疏水硅片承載器可以減少清洗中的酸和堿混合，增加清洗液效果，另外減少干燥時間，節(jié)約能源，提高硅片表面清潔程度。