可調(diào)式晶圓花籃
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021861035.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212725260U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212725260U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張小永;周祖武;馬南;李海楠 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京市塑料研究所有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李文麗 |
| 地址 | 100031北京市西城區(qū)舊鼓樓大街47號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種可調(diào)式晶圓花籃，包括：第一齒型結(jié)構(gòu)、第二齒型結(jié)構(gòu)、第一連接板和第二連接板，第一齒型結(jié)構(gòu)和第二齒型結(jié)構(gòu)相對(duì)設(shè)置，用于放置晶圓，第一連接板固定于第一齒型結(jié)構(gòu)，第二連接板固定于第二齒型結(jié)構(gòu)，且第一連接板上設(shè)有第一定位部，第二連接板設(shè)有與第一定位部能夠匹配連接的第二定位部，使得第一齒型結(jié)構(gòu)和第二齒型結(jié)構(gòu)之間通過(guò)第一定位部和第二定位部間距可調(diào)連接。本實(shí)用新型實(shí)施例可通過(guò)調(diào)節(jié)第一連接板的第一定位部和第二連接板的第二定位部的位置關(guān)系來(lái)調(diào)節(jié)第一齒型結(jié)構(gòu)和第二齒型結(jié)構(gòu)之間的距離，實(shí)現(xiàn)晶圓花籃尺寸可調(diào)，以滿(mǎn)足各種尺寸的晶圓加工生產(chǎn)需要，兼容性好，操作方便。?? |
