晶圓花籃
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021859054.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212725259U | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212725259U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張小永;劉哲偉;張寶慶;馬南;要博卿;王慧杰;朱道峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京市塑料研究所有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李文麗 |
| 地址 | 100031北京市西城區(qū)舊鼓樓大街47號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種晶圓花籃，包括：第一端面結(jié)構(gòu)、第二端面結(jié)構(gòu)和側(cè)面結(jié)構(gòu)，第一端面結(jié)構(gòu)和第二端面結(jié)構(gòu)的輪廓相同，側(cè)面結(jié)構(gòu)位于第一端面結(jié)構(gòu)和第二端面結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，并連接于第一端面結(jié)構(gòu)和第二端面結(jié)構(gòu)之間。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種晶圓花籃，采用了第一端面結(jié)構(gòu)和第二端面結(jié)構(gòu)為相同輪廓設(shè)計(jì)，即正、反面為相同形狀，使得生產(chǎn)設(shè)備對(duì)晶圓花籃的正反面都可以進(jìn)行識(shí)別定位，從而對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕、光刻、鍍膜等不同工藝。針對(duì)需要雙面制程的晶圓，采用本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓花籃，可無需將晶圓取下，可將晶圓花籃整體翻轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)晶圓的雙面制程，避免了晶圓在翻轉(zhuǎn)過程中損壞，提高了生產(chǎn)效率。?? |
