一種磁光記錄介質(zhì)鍍膜用稀土過(guò)渡合金旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法及其制備靶材

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610144237.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105803406B 公開(kāi)（公告）日 2019-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN105803406B 申請(qǐng)公布日 2019-04-09
分類號(hào) C23C14/34（2006.01）I; G11B5/84（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐從康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫舒瑪天科新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 110000 遼寧省沈陽(yáng)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)二十五號(hào)路91號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種稀土?過(guò)渡合金旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法及其制備靶材，所述方法包括：稀土過(guò)渡金屬合金的制備，真空澆注稀土過(guò)渡金屬合金中空靶管，熱等靜壓澆注好稀土過(guò)渡金屬合金靶管，機(jī)械加工，銦綁定。通過(guò)本方法制備的稀土過(guò)渡合金旋轉(zhuǎn)靶材，成分均勻，相對(duì)密度可達(dá)到99.9％，純度可達(dá)到99.99％，長(zhǎng)度不受限制，克服了旋轉(zhuǎn)靶材成分偏析，脆性大等缺點(diǎn)，降低了靶材的孔隙率，使其在使用過(guò)程中穩(wěn)定放電，從而提高磁光記錄介質(zhì)薄膜的品質(zhì)。另外，該方法工藝簡(jiǎn)單，操作方便，在熱等靜壓時(shí)，不需要常規(guī)的包套及氬弧焊，減少后續(xù)工序，可對(duì)靶管直接進(jìn)行熱等靜壓，降低生產(chǎn)成本。