綁定式磁控濺射旋轉靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610143209.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105624627A 公開（公告）日 2018-08-31
申請公布號 CN105624627A 申請公布日 2018-08-31
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐從康 申請（專利權）人 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 214192 江蘇省無錫市錫山區(qū)錫山經濟技術開發(fā)區(qū)芙蓉中三路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種綁定式磁控濺射旋轉靶材及其制備方法，所述綁定式磁控濺射旋轉靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的靶管，所述靶管為至少一個，所述背管外壁設有開口槽，所述靶管是通過填充在開口槽內的無銦釬焊材料經旋轉加熱焊接固定在背管外壁的，所述靶管內壁與背管外壁間隙為0.2-0.4mm。所述綁定式磁控濺射旋轉靶材的制備方法包括如下步驟：選取背管，在背管外壁機加工開口槽，清洗烘干后水平固定到旋轉設備上，在開口槽內加入無銦釬焊材料；選取靶管，對靶管內壁進行金屬化處理；將處理后的靶管套到準備好的背管上；啟動旋轉設備，對背管內壁和靶材外壁同時加熱，綁定完成后，關掉加熱源，保持旋轉設備工作，直至靶管冷卻到室溫。該方法操作簡單、效率高、成本低、應用范圍廣，并且通過該制備方法所得靶材尺寸不受限制、利用率高。