綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610143209.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105624627B 公開（公告）日 2018-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN105624627B 申請(qǐng)公布日 2018-08-31
分類號(hào) C23C14/35 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐從康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫舒瑪天科新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 214192 江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)芙蓉中三路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法，所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的靶管，所述靶管為至少一個(gè)，所述背管外壁設(shè)有開口槽，所述靶管是通過(guò)填充在開口槽內(nèi)的無(wú)銦釬焊材料經(jīng)旋轉(zhuǎn)加熱焊接固定在背管外壁的，所述靶管內(nèi)壁與背管外壁間隙為0.2?0.4mm。所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法包括如下步驟：選取背管，在背管外壁機(jī)加工開口槽，清洗烘干后水平固定到旋轉(zhuǎn)設(shè)備上，在開口槽內(nèi)加入無(wú)銦釬焊材料；選取靶管，對(duì)靶管內(nèi)壁進(jìn)行金屬化處理；將處理后的靶管套到準(zhǔn)備好的背管上；啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)設(shè)備，對(duì)背管內(nèi)壁和靶材外壁同時(shí)加熱，綁定完成后，關(guān)掉加熱源，保持旋轉(zhuǎn)設(shè)備工作，直至靶管冷卻到室溫。該方法操作簡(jiǎn)單、效率高、成本低、應(yīng)用范圍廣，并且通過(guò)該制備方法所得靶材尺寸不受限制、利用率高。