柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710573171.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107731352A 公開（公告）日 2018-02-23
申請公布號 CN107731352A 申請公布日 2018-02-23
分類號 H01B5/14;G06F3/044 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐從康 申請（專利權）人 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 110000 遼寧省沈陽市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)開發(fā)二十五號路91號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柔性電子玻璃透明導電氧化物薄膜電路制備方法，鍍膜基體為覆蓋所需要的塑料電路模板厚度25?100微米的可繞圈彎曲的玻璃，透明導電氧化物原料為透明導電氧化物平面或圓筒旋轉磁控濺射靶材，如銦錫氧化物(ITO)，鋁摻雜氧化鋅(AZO)，氟錫氧化物(FTO)，鎵摻雜氧化鋅(GZO)，銦鎵摻雜氧化鋅(IGZO)，銻錫氧化物(STO)等，該方法包括：柔性玻璃的清洗，塑料電路模板貼合到柔性玻璃上；真空等離子卷對卷(R2R)磁控濺射原子沉積，溫度調(diào)質處理，厚度和質量檢測，保護貼膜。該透明氧化物薄膜厚度為50?500納米；導電方阻為5?500歐姆/方塊；透光率75?95％。