柔性電子玻璃透明導(dǎo)電氧化物薄膜電路制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710573171.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107731352B 公開(kāi)（公告）日 2019-10-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN107731352B 申請(qǐng)公布日 2019-10-18
分類號(hào) H01B5/14;G06F3/044 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐從康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫舒瑪天科新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 110000 遼寧省沈陽(yáng)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)二十五號(hào)路91號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性電子玻璃透明導(dǎo)電氧化物薄膜電路制備方法，鍍膜基體為覆蓋所需要的塑料電路模板厚度25?100微米的可繞圈彎曲的玻璃，透明導(dǎo)電氧化物原料為透明導(dǎo)電氧化物平面或圓筒旋轉(zhuǎn)磁控濺射靶材，如銦錫氧化物(ITO)，鋁摻雜氧化鋅(AZO)，氟錫氧化物(FTO)，鎵摻雜氧化鋅(GZO)，銦鎵摻雜氧化鋅(IGZO)，銻錫氧化物(STO)等，該方法包括：柔性玻璃的清洗，塑料電路模板貼合到柔性玻璃上；真空等離子卷對(duì)卷(R2R)磁控濺射原子沉積，溫度調(diào)質(zhì)處理，厚度和質(zhì)量檢測(cè)，保護(hù)貼膜。該透明氧化物薄膜厚度為50?500納米；導(dǎo)電方阻為5?500歐姆/□；透光率75?95％。