一種平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材的制備方法及其制備靶材
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610144765.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105624619B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-06-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105624619B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-19 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/34;B22F3/16 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 徐從康 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫舒瑪天科新能源技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 341000 江西省贛州市贛州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)一期標(biāo)準(zhǔn)廠房（金嶺科技園）17棟3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材的制備方法及其制備靶材，其制備方法包括以下步驟：粉末制備，冷等靜壓，真空燒結(jié)，熱等靜壓，機(jī)械加工，銦綁定。該方法工藝簡(jiǎn)單，操作方便，在熱等靜壓時(shí)，不需要常規(guī)的包套及氬弧焊，減少后續(xù)工序，可大靶管直接進(jìn)行熱等靜壓，降低生產(chǎn)成本。本方法制備的鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材成分均勻，長(zhǎng)度可達(dá)到4000mm或更長(zhǎng)，靶管厚度可達(dá)到25mm，靶材相對(duì)密度≥99.9％，純度≥99.99％，晶粒尺寸小于30微米，所制備的旋轉(zhuǎn)靶材屬于高端旋轉(zhuǎn)靶材，可以運(yùn)用到更為廣泛的領(lǐng)域。 |
