一種平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉濺射靶材的制備方法及其制備靶材

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610144765.1 申請日 -
公開（公告）號 CN105624619B 公開（公告）日 2018-06-19
申請公布號 CN105624619B 申請公布日 2018-06-19
分類號 C23C14/34;B22F3/16 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐從康 申請（專利權）人 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 341000 江西省贛州市贛州經濟技術開發(fā)區(qū)一期標準廠房（金嶺科技園）17棟3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉濺射靶材的制備方法及其制備靶材，其制備方法包括以下步驟：粉末制備，冷等靜壓，真空燒結，熱等靜壓，機械加工，銦綁定。該方法工藝簡單，操作方便，在熱等靜壓時，不需要常規(guī)的包套及氬弧焊，減少后續(xù)工序，可大靶管直接進行熱等靜壓，降低生產成本。本方法制備的鋁稀土合金旋轉濺射靶材成分均勻，長度可達到4000mm或更長，靶管厚度可達到25mm，靶材相對密度≥99.9％，純度≥99.99％，晶粒尺寸小于30微米，所制備的旋轉靶材屬于高端旋轉靶材，可以運用到更為廣泛的領域。