一種動態(tài)檢測裝置及化學機械平坦化設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210164369.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114220748B 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN114220748B 申請公布日 2022-06-21
分類號 H01L21/66;H01L21/306 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳陽陽;殷騏 申請（專利權）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機構 杭州凱知專利代理事務所（普通合伙） 代理人 邵志
地址 311300 浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種動態(tài)檢測裝置，包括：發(fā)射單元；反饋單元，用于接收發(fā)射單元發(fā)出的光束；發(fā)射單元和反饋單元分別設于晶圓傳輸手或晶圓清洗模組；發(fā)射單元和反饋單元分別位于晶圓的兩側，當晶圓傳輸手上夾持有晶圓時，該晶圓可阻擋光束；發(fā)射單元或反饋單元隨著晶圓傳輸手移動，可與晶圓清洗模組的任一反饋單元或發(fā)射單元配合，用于檢測兩者之間的光路內(nèi)是否有晶圓，以判斷晶圓傳輸手上是否夾持有晶圓。本發(fā)明還公開了一種化學機械平坦化設備。本發(fā)明可以實時檢測每個或任意一個晶圓傳輸手上是否夾持有晶圓；晶圓傳輸手的移動通道不會被阻隔，移動更加靈活；實現(xiàn)了動態(tài)檢測，可選擇性地與任意晶圓清洗模組配合進行檢測。