一種晶圓拋光系統(tǒng)、裝載方法及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210316152.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114619308A 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN114619308A 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) B24B7/22（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 徐梟宇;鄭東州;楊淵思 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州凱知專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311300浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號(hào)1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓拋光系統(tǒng)，包括晶圓傳遞裝置，包括固定座和載片臺(tái)，固定座可帶著載片臺(tái)在晶圓傳輸通道內(nèi)沿X軸方向移動(dòng)；拋光模組，設(shè)于晶圓傳輸通道的側(cè)邊，可于載片臺(tái)上獲取晶圓進(jìn)行拋光；固定座和載片臺(tái)之間設(shè)有對(duì)接機(jī)構(gòu)，該對(duì)接機(jī)構(gòu)的部分與固定座相連，部分與載片臺(tái)相連；當(dāng)對(duì)接機(jī)構(gòu)的兩部分完成對(duì)接時(shí)，載片臺(tái)和固定座實(shí)現(xiàn)限位，且該對(duì)接機(jī)構(gòu)可在X軸和Y軸所在平面移動(dòng)，以帶動(dòng)載片臺(tái)移動(dòng)至目標(biāo)位置。本發(fā)明還公開了一種所述晶圓拋光系統(tǒng)的裝載方法。本發(fā)明又公開了一種所述晶圓拋光系統(tǒng)的使用方法。本發(fā)明有效保證載片臺(tái)移動(dòng)至目標(biāo)位置，在兩個(gè)維度上疊加調(diào)整，對(duì)接范圍廣；對(duì)接限位可以在不同過程中進(jìn)行，應(yīng)用靈活。