一種站立式晶圓卡座

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123158380.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216773217U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216773217U 申請公布日 2022-06-17
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱政挺 申請（專利權(quán)）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州凱知專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311300浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種站立式晶圓卡座，至少包括一個基座單元；基座單元包括第一晶圓座和第二晶圓座；第一晶圓座頂部帶有第一弧形凹面，其朝向第二晶圓座的一側(cè)形成第一作用面，該第一作用面對應(yīng)第一弧形凹面所在區(qū)域；第二晶圓座頂部帶有第二弧形凹面，其朝向第一晶圓座的一側(cè)形成第二作用面，該第二作用面對應(yīng)第二弧形凹面所在區(qū)域；第一作用面和第二作用面配合以支撐晶圓豎直站立。本實用新型合理利用了豎直方向的空間；第一弧形凹面和第二弧形凹面、第一作用面和第二作用面的設(shè)計，使得晶圓在放入卡座后，部分弧線整體都被限位，更為穩(wěn)定。