一種拋光墊表面狀況在線檢測方法及檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210077397.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114083427B 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN114083427B 申請公布日 2022-05-17
分類號 B24B37/005（2012.01）I;B24B49/12（2006.01）I;B24B37/26（2012.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 楊哲;周遠鵬;蔡寧遠 申請（專利權(quán)）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州凱知專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311300浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種拋光墊表面狀況在線檢測方法，包括以下步驟：光學傳感器在拋光墊上方移動，以獲取光學傳感器與拋光墊表面的距離信息；根據(jù)測得的距離信息，區(qū)分拋光墊表面液體的分布情況，對應(yīng)使用不同的修正計算公式，計算得到拋光墊表面溝槽的深度值；將拋光墊表面溝槽修正后的深度值與預(yù)設(shè)閾值比較，判斷拋光墊上的溝槽深度狀況，以確定拋光墊是否需要更換。本發(fā)明還公開了一種拋光墊表面狀況在線檢測系統(tǒng)。本發(fā)明依靠光學傳感器非接觸在線測量拋光墊表面狀態(tài)，防止了接觸檢測對拋光墊表面可能造成的損害，在線的測量使得拋光墊表面狀態(tài)的監(jiān)測及時，能夠準確而高效的實現(xiàn)對拋光墊表面狀態(tài)的檢測，檢測的時效性更強，測量精確。