一種標定拋光頭和裝卸臺工作位置的裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210432780.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114678304A 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN114678304A 申請公布日 2022-06-28
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐梟宇;周杲翔;蔡寧遠 申請（專利權(quán)）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州凱知專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311300浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種標定拋光頭和裝卸臺工作位置的裝置，包括：裝卸臺，可沿直線軌跡往復(fù)運動；拋光頭，可周向旋轉(zhuǎn)，且其旋轉(zhuǎn)軌跡與直線軌跡至少有一個交點；傳感器組件，用于監(jiān)測拋光頭的外緣與傳感器之間的間距變化，包括傳感器，其至少可在裝卸臺徑向兩端的位置進行測距；判斷單元，用于輸出傳感器組件監(jiān)測的拋光頭外緣與傳感器之間的最小直線距離，以判斷拋光頭和裝卸臺的中心軸線是否重合。本發(fā)明還公開了一種標定拋光頭和裝卸臺工作位置的方法。本發(fā)明標定效率高，對傳感器的安裝位置要求低；檢測誤差小。