晶圓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123042692.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216793621U 公開(kāi)（公告）日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN216793621U 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 殷騏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州凱知專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311300浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號(hào)1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了晶圓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，晶圓的外邊緣帶有缺口部，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括，側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪一，帶有第一凹槽，底面與晶圓外緣接觸，側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪一自身轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)；中間驅(qū)動(dòng)輪，帶有第二凹槽，底面可與晶圓外緣接觸，中間驅(qū)動(dòng)輪自身轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)；側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪二，帶有第三凹槽，其底面與晶圓外緣接觸，側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪二自身轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)；中間驅(qū)動(dòng)輪的軸心所在高度小于側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪一和側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪二的軸心所在高度；側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪一和側(cè)方驅(qū)動(dòng)輪二與晶圓的接觸點(diǎn)之間的間距為S，缺口部的水平寬度為L(zhǎng)，S≥L。本實(shí)用新型通過(guò)三個(gè)主動(dòng)輪的配合驅(qū)動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，提高了驅(qū)動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的可靠性，保證晶圓的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動(dòng)；提高了晶圓轉(zhuǎn)速檢測(cè)可靠性。