晶圓驅(qū)動機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123042692.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216793621U 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN216793621U 申請公布日 2022-06-21
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 殷騏 申請（專利權(quán)）人 杭州眾硅電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州凱知專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311300浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道創(chuàng)業(yè)街88號1幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了晶圓驅(qū)動機(jī)構(gòu)，晶圓的外邊緣帶有缺口部，驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括，側(cè)方驅(qū)動輪一，帶有第一凹槽，底面與晶圓外緣接觸，側(cè)方驅(qū)動輪一自身轉(zhuǎn)動以驅(qū)動晶圓轉(zhuǎn)動；中間驅(qū)動輪，帶有第二凹槽，底面可與晶圓外緣接觸，中間驅(qū)動輪自身轉(zhuǎn)動以驅(qū)動晶圓轉(zhuǎn)動；側(cè)方驅(qū)動輪二，帶有第三凹槽，其底面與晶圓外緣接觸，側(cè)方驅(qū)動輪二自身轉(zhuǎn)動以驅(qū)動晶圓轉(zhuǎn)動；中間驅(qū)動輪的軸心所在高度小于側(cè)方驅(qū)動輪一和側(cè)方驅(qū)動輪二的軸心所在高度；側(cè)方驅(qū)動輪一和側(cè)方驅(qū)動輪二與晶圓的接觸點(diǎn)之間的間距為S，缺口部的水平寬度為L，S≥L。本實(shí)用新型通過三個(gè)主動輪的配合驅(qū)動晶圓轉(zhuǎn)動，提高了驅(qū)動晶圓轉(zhuǎn)動的可靠性，保證晶圓的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動；提高了晶圓轉(zhuǎn)速檢測可靠性。