聲表面波諧振器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011540661.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112886941A 公開(kāi)(公告)日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN112886941A 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) H03H9/25;H03H3/08 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 鄭根林;張樹民 申請(qǐng)(專利權(quán))人 杭州左藍(lán)微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶中之信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 梁欣
地址 310000 浙江省杭州市下城區(qū)紹興路398號(hào)國(guó)投大廈1420室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了聲表面波諧振器,包括壓電基板以及位于所述壓電基板表面上的叉指換能器,所述壓電基板上具有凹陷部并設(shè)有用于填充所述凹陷部的減速層,所述減速層與所述叉指換能器的電極接觸以降低在接觸位置所在區(qū)域的聲速;所述接觸位置在非中心區(qū)域。本發(fā)明還公開(kāi)了聲表面波諧振器的制造方法。本發(fā)明可消減橫向模式。