可抑制橫向模式的聲表面波諧振器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011536833.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112886938A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN112886938A 申請公布日 2021-06-01
分類號 H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 鄭根林;張樹民 申請（專利權(quán)）人 杭州左藍(lán)微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 重慶中之信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 梁欣
地址 310000 浙江省杭州市下城區(qū)紹興路398號國投大廈1420室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了可抑制橫向模式的聲表面波諧振器，包括壓電基板以及位于所述壓電基板表面上的叉指換能器，所述叉指換能器的中心區(qū)域和兩側(cè)匯流區(qū)域之間的至少部分區(qū)域分別覆蓋有第一溫度補償層，所述叉指換能器在兩側(cè)的所述第一溫度補償層外側(cè)的部分上以及兩側(cè)的所述第一溫度補償層之間覆蓋有第二溫度補償層；所述第一溫度補償層的聲速比第二溫度補償層低。本發(fā)明還公開了可抑制橫向模式的聲表面波諧振器的制作方法。