一種高穩(wěn)定性的MEMS諧振器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121823251.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215912082U | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215912082U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | H03H9/24（2006.01）I;H03H9/05（2006.01）I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 鄧侃 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 杭州左藍(lán)微電子技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 重慶中之信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張園 |
| 地址 | 浙江省杭州市拱墅區(qū)東新路690號(hào)602A-602B | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提出的高穩(wěn)定性的MEMS諧振器中，振動(dòng)主體是由第一形狀的外輪廓和第二形狀的內(nèi)輪廓限定的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，根據(jù)彈性波傳播速度的傳播輪廓來(lái)設(shè)計(jì)振動(dòng)主體的內(nèi)外輪廓形狀，通過令第一形狀中心點(diǎn)到外輪廓上各邊緣點(diǎn)的距離與對(duì)應(yīng)方向上彈性波傳播速度在振動(dòng)主體材料中的大小成相同的比例，使得MEMS諧振器產(chǎn)生純體積諧振模態(tài)，從而提高了MEMS諧振器的穩(wěn)定性和可靠性。實(shí)施例中還給出令振動(dòng)主體的內(nèi)外輪廓形狀都與振動(dòng)主體材料在平面內(nèi)的彈性波傳播速度的傳播輪廓相一致，并且內(nèi)外輪廓形狀可不一致的方案，提高了MEMS諧振器對(duì)不同振動(dòng)方式的適應(yīng)性。另外通過將錨結(jié)構(gòu)設(shè)置在振動(dòng)主體中心，支撐結(jié)構(gòu)對(duì)稱設(shè)置在錨結(jié)構(gòu)和振動(dòng)主體之間，減少了能量損失。 |
