一種能夠抑制橫向模式的聲表面波器件及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111093430.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113839642A 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN113839642A 申請公布日 2021-12-24
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 張樹民 申請（專利權(quán)）人 杭州左藍(lán)微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 重慶中之信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 梁欣
地址 310000浙江省杭州市下城區(qū)紹興路398號國投大廈1420室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種能夠抑制橫向模式的聲表面波器件，包括設(shè)置在壓電基板上的叉指電極，所述叉指電極的邊緣區(qū)域設(shè)有與所述叉指電極主體部分材料密度不同的替換部。還公開了一種能夠抑制橫向模式的聲表面波器件制作方法。本發(fā)明通過采用密度不同的材料替換叉指電極特定區(qū)域（如邊緣區(qū)域）的電極材料來實現(xiàn)降低該區(qū)域的聲速，無需改變指條的形狀，解決了現(xiàn)有技術(shù)中piston結(jié)構(gòu)光刻難度較大、高頻下難以應(yīng)用的技術(shù)問題。