薄膜體聲波諧振器及其制備方法、濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011568972.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112886939A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN112886939A 申請公布日 2021-06-01
分類號 H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 張樹民;汪泉 申請（專利權(quán)）人 杭州左藍微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 重慶中之信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅慶
地址 310000 浙江省杭州市下城區(qū)紹興路398號國投大廈1420室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開的一種薄膜體聲波諧振器，所述薄膜體聲波諧振器包括：襯底和壓電三明治結(jié)構(gòu)，所述襯底具有凹槽，所述壓電三明治結(jié)構(gòu)至少部分懸設(shè)置于所述凹槽的上方，所述凹槽內(nèi)設(shè)置有支撐結(jié)構(gòu)，所述壓電三明治結(jié)構(gòu)與所述支撐結(jié)構(gòu)不直接相接，當所述薄膜體聲波諧振器正常工作時，所述能量不會從所述壓電三明治結(jié)構(gòu)向所述支撐結(jié)構(gòu)泄露，當所述薄膜體聲波諧振器的壓電三明治結(jié)構(gòu)因重力或其他原因塌陷時，所述支撐結(jié)構(gòu)可以對其起到支撐作用，一定程度上提高了薄膜體聲波諧振器的可靠性。