一種金剛石生長托盤和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911053062.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110714225B 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN110714225B 申請公布日 2021-10-01
分類號 C30B29/04（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 彭國令;黃翀 申請（專利權）人 航天科工（長沙）新材料研究院有限公司
代理機構 長沙楚為知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 李大為
地址 410205湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)文軒路27號麓谷鈺園B8棟7樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及金剛石制造領域，尤其涉及一種金剛石生長托盤和系統(tǒng)。一種金剛石生長托盤，包括基部、裝設在所述基部上的承臺；所述承臺為正多棱臺形或圓臺形，在上表面具有凹槽，所述凹槽的開口處邊沿為倒角設計。相較于現有技術，具有以下效果：通過新設計的籽晶托盤，可以維持籽晶表面的等離子體分布及電場分布在最佳狀態(tài)，保證金剛石籽晶生長環(huán)境穩(wěn)定，降低表面生長缺陷數量，最終合成出高質量的單晶金剛石片；通過新設計的籽晶托盤，可以使籽晶托盤邊緣碳黑等雜質生長速率顯著降低，保證單次穩(wěn)定生長時間更長，可以一次性生長更厚的產品，提高生產效率。