一種低應(yīng)力金剛石及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010604552.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111778555B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111778555B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/04;C30B11/00 | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 彭國(guó)令;黃翀;劉立斌 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 航天科工（長(zhǎng)沙）新材料研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢智匯為專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李恭渝 |
| 地址 | 410000 湖南省長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)麓山南路932號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明一種低應(yīng)力金剛石及其制備方法，包括如下步驟：S1：將金剛石梯度升溫至1100?2300℃，保溫10min?8h；S2：再將金剛石梯度降溫至400℃以下。采用真空高溫設(shè)備或等離子體設(shè)備完成低應(yīng)力金剛石的制備，將密閉空間的溫度梯度升高到1100℃以上的設(shè)備，真空高溫設(shè)備選為真空管式爐設(shè)備，本底真空度降低小于10?9mbar，并且采用惰性氣體Ar、He保護(hù)。本方法相比現(xiàn)有技術(shù)而言步驟簡(jiǎn)單，方便大規(guī)模的處理成品單晶金剛石，特別適用于厚度較厚的單晶金剛石產(chǎn)品；采取梯度降溫法，極大地避免了高溫環(huán)境下對(duì)金剛石產(chǎn)品的內(nèi)應(yīng)力沖擊，使得內(nèi)部晶體結(jié)構(gòu)逐漸重新排列，達(dá)到去應(yīng)力的目的；恰當(dāng)?shù)臏囟瓤刂坪退俾士刂疲诖_保了金剛石產(chǎn)品內(nèi)應(yīng)力能獲得有效改善的基礎(chǔ)上，保障了處理效率，適用于工業(yè)化生產(chǎn)。 |
