一種低應(yīng)力金剛石及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010604552.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111778555A | 公開（公告）日 | 2020-10-16 |
| 申請公布號 | CN111778555A | 申請公布日 | 2020-10-16 |
| 分類號 | C30B29/04(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 彭國令;黃翀;劉立斌 | 申請（專利權(quán)）人 | 航天科工（長沙）新材料研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢智匯為專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 中南大學(xué);長沙新材料產(chǎn)業(yè)研究院有限公司 |
| 地址 | 410000湖南省長沙市岳麓區(qū)麓山南路932號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明一種低應(yīng)力金剛石及其制備方法，包括如下步驟：S1：將金剛石梯度升溫至1100?2300℃，保溫10min?8h；S2：再將金剛石梯度降溫至400℃以下。采用真空高溫設(shè)備或等離子體設(shè)備完成低應(yīng)力金剛石的制備，將密閉空間的溫度梯度升高到1100℃以上的設(shè)備，真空高溫設(shè)備選為真空管式爐設(shè)備，本底真空度降低小于10?9mbar，并且采用惰性氣體Ar、He保護(hù)。本方法相比現(xiàn)有技術(shù)而言步驟簡單，方便大規(guī)模的處理成品單晶金剛石，特別適用于厚度較厚的單晶金剛石產(chǎn)品；采取梯度降溫法，極大地避免了高溫環(huán)境下對金剛石產(chǎn)品的內(nèi)應(yīng)力沖擊，使得內(nèi)部晶體結(jié)構(gòu)逐漸重新排列，達(dá)到去應(yīng)力的目的；恰當(dāng)?shù)臏囟瓤刂坪退俾士刂疲诖_保了金剛石產(chǎn)品內(nèi)應(yīng)力能獲得有效改善的基礎(chǔ)上，保障了處理效率，適用于工業(yè)化生產(chǎn)。?? |
