一種硅片吸盤手裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121330355.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214672652U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214672652U 申請公布日 2021-11-09
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周軍;戴秋喜;潘加永;劉光照 申請（專利權(quán)）人 蘇州映真智能科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號出口加工區(qū)配套工業(yè)園35號標準廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片吸盤手裝置，包括移動機構(gòu)、R軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、吸盤手機構(gòu)及相機，所述移動機構(gòu)與所述R軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，所述R軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述吸盤手機構(gòu)相連，所述吸盤手機構(gòu)至少包括第一吸盤、第二吸盤、第一升降組件及第二升降組件，所述第一升降組件與所述第一吸盤相連，所述第二升降組件與所述第二吸盤相連，所述相機位于所述第一吸盤、所述第二吸盤的下方。本實用新型的硅片吸盤手裝置提高了硅片轉(zhuǎn)移效率，同時還可滿足硅片的多種鋪設(shè)需求。