石墨舟校正裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121937268.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215869431U 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN215869431U 申請公布日 2022-02-18
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 江幺明;戴秋喜;潘加永;劉光照 申請（專利權(quán)）人 蘇州映真智能科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號出口加工區(qū)配套工業(yè)園35號標(biāo)準(zhǔn)廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種石墨舟校正裝置，包括：移載平臺，石墨舟固定于移載平臺上；移載輸送線，移載平臺置于移載輸送線上，移載平臺通過移載輸送線輸送，移載輸送線固定于固定平臺上；前定位機構(gòu)，位于移載輸送線的前端；側(cè)定位機構(gòu)，固定于所述固定平臺上，位于移載輸送線的一側(cè)邊；校正機構(gòu)，固定于移載輸送線上，校正機構(gòu)包括升降組件、校正組件及校正板，校正板上設(shè)有多個間隔設(shè)置的校正拖齒，升降組件與校正組件相連，校正板與校正組件相連，相鄰校正拖齒之間的間距與石墨舟的相鄰舟片之間的間距相同。本申請的校正裝置能夠自動對變形的石墨舟的舟片進(jìn)行校正，避免在裝卸硅片時掉片、碎片的情況發(fā)生，且校正效率較高。