雙石墨舟取放片定位機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120128210.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213816101U 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213816101U 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）;H01L21/68（2006.01）;H01L31/18（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 江幺明;戴秋喜;潘加永;劉光照 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州映真智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號(hào)出口加工區(qū)配套工業(yè)園35號(hào)標(biāo)準(zhǔn)廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種雙石墨舟取放片定位機(jī)構(gòu)，設(shè)置于管式PECVD鍍膜工位與取放片工位之間，包括移載平臺(tái)、第一主機(jī)托盤、第二主機(jī)托盤、第一定位機(jī)構(gòu)和第二定位機(jī)構(gòu)，第一主機(jī)托盤承載有第一石墨舟，第二主機(jī)托盤承載有第二石墨舟；在移載平臺(tái)上安裝有托盤傳送帶，所述托盤傳送帶傳送第一主機(jī)托盤和第二主機(jī)托盤至移載平臺(tái)上；移載平臺(tái)運(yùn)送所述第一主機(jī)托盤和第二主機(jī)托盤至取放片工位，所述第一定位機(jī)構(gòu)用于定位位于取放片工位的第一石墨舟，所述第二定位機(jī)構(gòu)用于定位位于取放片工位的第二石墨舟。該雙石墨舟取放片定位機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，雙石墨舟的轉(zhuǎn)移及定位節(jié)拍快，大大提高了雙石墨舟的取放片效率并可有效防止石墨舟損壞。