一種硅片轉(zhuǎn)移吸盤裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121624272.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215008182U 公開（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN215008182U 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 顧徐鋒;戴秋喜;潘加永;劉光照 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州映真智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號(hào)出口加工區(qū)配套工業(yè)園35號(hào)標(biāo)準(zhǔn)廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片轉(zhuǎn)移吸盤裝置，包括多個(gè)硅片吸盤及固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)至少包括吸盤槽板及置于所述吸盤槽板上的多個(gè)固定組件，所述吸盤槽板上間隔設(shè)置有多個(gè)容置槽，所述容置槽的寬度與所述硅片吸盤的寬度相匹配，多個(gè)所述硅片吸盤的頂部分別固定于多個(gè)所述容置槽內(nèi)；所述硅片吸盤的側(cè)邊設(shè)有第一固定部，所述固定組件上設(shè)有第二固定部，多個(gè)所述固定組件通過所述第一固定部、所述第二固定部將所述硅片吸盤固定于所述容置槽內(nèi)。本實(shí)用新型的硅片轉(zhuǎn)移吸盤裝置的硅片吸盤在損壞后，只需要將損壞的硅片吸盤取下替換即可，不需要將全部硅片吸盤拆除，便于硅片吸盤的維護(hù)。