一種新式薄膜晶體管的設(shè)計(jì)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811561139.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109801974A 公開(kāi)（公告）日 2019-05-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN109801974A 申請(qǐng)公布日 2019-05-24
分類(lèi)號(hào) H01L29/786（2006.01）I; H01L21/34（2006.01）I; H01L21/336（2006.01）I; G03F1/00（2012.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 陸文正 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華映科技（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州元?jiǎng)?chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 華映科技（集團(tuán)）股份有限公司
地址 350015 福建省福州市馬尾區(qū)儒江西路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種新式薄膜晶體管的設(shè)計(jì)方法，首先，進(jìn)行第一道光罩導(dǎo)線層制程；其次，進(jìn)行第二道光罩柵極絕緣層及半導(dǎo)體層制程；然后，進(jìn)行第三道光罩畫(huà)素電極制程；最后，進(jìn)行第四道光罩鈍化層制程。本發(fā)明的四道光罩TFT制程，與原本五道光罩制程最大的差別是在第三光罩制程，四道光罩制程中的第三道光罩可取代五道光罩制程中的第三、第五道光罩，之后的第四道與五道制程中的第四道相同。本發(fā)明能夠在不使用HTM光罩的情況下，可將傳統(tǒng)五道光罩TFT制程降至四道光罩制程，不僅可減少光罩?jǐn)?shù)及制作流程，也可降低藥液、特氣等生產(chǎn)成本。