基于MEMS振鏡的激光雷達的校準系統(tǒng)和消除圖像晃動的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110513021.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN113253245A | 公開（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申請公布號 | CN113253245A | 申請公布日 | 2021-08-13 |
| 分類號 | G01S7/497（2006.01）I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 侯繼東 | 申請（專利權）人 | 蘇州深水漁半導體有限公司 |
| 代理機構 | 蘇州睿昊知識產權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 馬小慧 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市太倉市大連東路36號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 發(fā)明公開了一種基于靜電電壓驅動的MEMS振鏡的激光雷達的校準系統(tǒng)以及消除由于外界震動導致的圖像失真方法，包括：采用CCD獲得MEMS振鏡的最佳共振頻率和最大驅動幅度。獲取校準時沒有外界震動時的激光光斑在CCD上的光斑成像坐標和激光探測角度的關系，以消除由于外界震動導致的圖像失真。發(fā)明的有益效果：本發(fā)明使MEMS激光雷達的校準非常簡便，消除了由于應力釋放、電壓偏移、器件老化等因素帶來的性能劣化。同時依靠本發(fā)明可以消除因外界震動引起的圖像扭曲或不可識別的問題。采用本方案后，激光雷達圖像的形成并不要求對振鏡的旋轉角度和驅動電壓的線性關系。 |
