光學(xué)芯片及其生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110260479.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113135547A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113135547A 申請公布日 2021-07-20
分類號 B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 侯繼東 申請（專利權(quán)）人 蘇州深水漁半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 蘇州睿昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈彬彬
地址 215000 江蘇省蘇州市太倉市大連東路36號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)芯片及其生產(chǎn)方法，一種光學(xué)芯片，包括：襯底層、一對轉(zhuǎn)軸和微鏡；所述微鏡通過一對所述轉(zhuǎn)軸被錨定在所述襯底層上，一對所述轉(zhuǎn)軸分布在所述微鏡的兩側(cè)；其中，在外加電場或磁場的作用下，所述微鏡發(fā)生轉(zhuǎn)動，一對所述轉(zhuǎn)軸向遠離所述襯底層的方向發(fā)生彎曲從而形成拱形。本發(fā)明的有益效果：一對所述轉(zhuǎn)軸向遠離所述襯底層的方向發(fā)生彎曲從而形成拱形，通過改變轉(zhuǎn)軸的形狀抑制所受外力導(dǎo)致轉(zhuǎn)軸的向下彎曲變形，從而增大旋轉(zhuǎn)角度的范圍。