濕式鍍膜系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910305218.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN101988193B 公開（公告）日 2014-04-30
申請公布號(hào) CN101988193B 申請公布日 2014-04-30
分類號(hào) C23C18/00(2006.01)I;C23C22/00(2006.01)I;C23C20/00(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃建豪;裴紹凱 申請（專利權(quán)）人 啟東遠(yuǎn)洋電纜有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518109 廣東省深圳市寶安區(qū)龍華鎮(zhèn)油松第十工業(yè)區(qū)東環(huán)二路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè)設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的濕式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)。該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。該濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進(jìn)行鍍膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動(dòng)而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。