含無氟光致產(chǎn)酸劑的可降解型樹脂單體及其制備方法和應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110695006.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113429377A | 公開（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113429377A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | C07D317/72（2006.01）I;C07C381/12（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I | 分類 | 有機(jī)化學(xué)〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 傅志偉;潘新剛;邵嚴(yán)亮;薛富奎;余文卿 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 徐州博康信息化學(xué)品有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥鴻知運(yùn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于可降解型光刻膠樹脂單體，公開了一種含無氟光致產(chǎn)酸劑的可降解型樹脂單體及其制備方法和應(yīng)用，其結(jié)構(gòu)通式如下：1其中，P1、P3、P3各自獨(dú)立的為氫或者烷基。其制備方法為，丙二酰氯Ⅰ與4?羥甲基環(huán)己酮經(jīng)酯化反應(yīng)形成中間體Ⅱ；中間體Ⅱ經(jīng)磺化反應(yīng)生成中間體Ⅲ；中間體Ⅲ與三苯基鹵化硫或者取代苯基鹵化硫反應(yīng)生成中間體Ⅳ；中間體Ⅳ與2?甲基?2?丙烯酸?2,3?二羥基丙酯反應(yīng)形成半縮醛結(jié)構(gòu)的樹脂單體Ⅴ。本發(fā)明的樹脂單體結(jié)合有光致產(chǎn)酸劑，具有防止光致產(chǎn)酸劑的擴(kuò)散，改善邊緣粗糙度，增加對(duì)比度，提高分辨率的性能，且制備方法簡單方便。 |
