一種由2-環(huán)戊基環(huán)戊酮合成的可降解型樹脂單體及其制備方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110700758.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113429293A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113429293A 申請公布日 2021-09-24
分類號 C07C69/54（2006.01）I;C07C67/08（2006.01）I;C07C35/21（2006.01）I;C07C29/00（2006.01）I;C07F7/18（2006.01）I;C07D305/06（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;邵嚴亮;余文卿;薛富奎;劉司飛;李靜 申請（專利權）人 徐州博康信息化學品有限公司
代理機構 合肥鴻知運知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻膠技術領域，公開了一種由2?環(huán)戊基環(huán)戊酮合成的可降解型樹脂單體及其制備方法和應用，所述可降解型樹脂單體的結(jié)構通式如下：其中R為烷基或雜烷基?？山到庑蜆渲瑔误w上含有叔丁基結(jié)構，在曝光時，光致產(chǎn)酸劑會產(chǎn)生酸，在酸的作用下，叔丁基結(jié)構會斷開，導致聚合主鏈斷開，形成小片段，能夠改善光刻圖形的邊緣粗糙度，提高光刻膠的分辨率，斷開后形成了具有良好堿溶性的羥基，有利于顯影過程中的溶解，增加曝光后光刻膠在顯影液中溶解速度，增大光刻膠的對比度。