一種光刻膠樹(shù)脂單體及其合成方法和應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110688845.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113429292A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113429292A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | C07C69/54（2006.01）I;C07C69/96（2006.01）I;C07C67/08（2006.01）I;C07C68/00（2020.01）I;G03F7/027（2006.01）I | 分類 | 有機(jī)化學(xué)〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 傅志偉;潘新剛;薛富奎;劉司飛;紀(jì)興躍;李靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 徐州博康信息化學(xué)品有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥鴻知運(yùn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)化工聚集區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于光刻膠樹(shù)脂單體，公開(kāi)了一種光刻膠樹(shù)脂單體及其合成方法和應(yīng)用，涉及光刻膠領(lǐng)域，所述樹(shù)脂單體的結(jié)構(gòu)為式Ⅰ：該結(jié)構(gòu)中，n為1～10的整數(shù)，R1為氫、甲基或者氟代烷烴,R2為氫或者一價(jià)有機(jī)基團(tuán)，且R2為一價(jià)有機(jī)基時(shí)，R2通過(guò)與相鄰的O原子形成酯基或者碳酸酯基與多元環(huán)相連，且該結(jié)構(gòu)的多元環(huán)上的氫原子可以被1～10個(gè)碳原子數(shù)的烷基取代。本發(fā)明提供了一種新的光刻膠樹(shù)脂單體，有利于改善光刻圖形的線寬粗糙度、焦點(diǎn)深度（DOF）和斷面的矩形性，并且可以在一定程度上抑制光刻過(guò)程后烘導(dǎo)致的模收縮，提高光刻圖形的分辨率。 |
