一種光刻膠樹脂單體及其合成方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110688845.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113429292A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113429292A 申請公布日 2021-09-24
分類號 C07C69/54（2006.01）I;C07C69/96（2006.01）I;C07C67/08（2006.01）I;C07C68/00（2020.01）I;G03F7/027（2006.01）I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;潘新剛;薛富奎;劉司飛;紀興躍;李靜 申請（專利權）人 徐州博康信息化學品有限公司
代理機構 合肥鴻知運知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經濟開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光刻膠樹脂單體，公開了一種光刻膠樹脂單體及其合成方法和應用，涉及光刻膠領域，所述樹脂單體的結構為式Ⅰ：該結構中，n為1～10的整數，R1為氫、甲基或者氟代烷烴,R2為氫或者一價有機基團，且R2為一價有機基時，R2通過與相鄰的O原子形成酯基或者碳酸酯基與多元環(huán)相連，且該結構的多元環(huán)上的氫原子可以被1～10個碳原子數的烷基取代。本發(fā)明提供了一種新的光刻膠樹脂單體，有利于改善光刻圖形的線寬粗糙度、焦點深度（DOF）和斷面的矩形性，并且可以在一定程度上抑制光刻過程后烘導致的模收縮，提高光刻圖形的分辨率。