一種堿溶性良好的光刻膠酸敏樹(shù)脂單體及其合成方法和應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110694962.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113493382A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113493382A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | C07C67/14（2006.01）I;C07C69/54（2006.01）I;C07C45/63（2006.01）I;C07C49/457（2006.01）I;C07C45/64（2006.01）I;C07C49/517（2006.01）I;C07C41/30（2006.01）I;C07C43/196（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I | 分類(lèi) | 有機(jī)化學(xué)〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 傅志偉;潘新剛;邵嚴(yán)亮;余文卿;紀(jì)興躍;郭有壹 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 徐州博康信息化學(xué)品有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥鴻知運(yùn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)化工聚集區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種堿溶性良好的光刻膠酸敏樹(shù)脂單體及其合成方法和應(yīng)用，涉及光刻膠樹(shù)脂單體領(lǐng)域，光刻膠樹(shù)脂單體的結(jié)構(gòu)式為：1其中R2為甲基或者氫，R3為烷基,為碳原子數(shù)3?15的脂肪環(huán)，R為烷基。該樹(shù)脂單體能增加光刻膠的耐刻蝕性能，改善與晶圓的粘附力，并且能夠增加光刻膠在曝光前后的堿溶性差，有利于改善光刻膠的線(xiàn)邊緣粗糙度，提高分辨率。 |
