一種堿溶性良好的光刻膠酸敏樹脂單體及其合成方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110694962.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113493382A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN113493382A 申請公布日 2021-10-12
分類號 C07C67/14（2006.01）I;C07C69/54（2006.01）I;C07C45/63（2006.01）I;C07C49/457（2006.01）I;C07C45/64（2006.01）I;C07C49/517（2006.01）I;C07C41/30（2006.01）I;C07C43/196（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;潘新剛;邵嚴亮;余文卿;紀興躍;郭有壹 申請（專利權）人 徐州博康信息化學品有限公司
代理機構 合肥鴻知運知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經濟開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種堿溶性良好的光刻膠酸敏樹脂單體及其合成方法和應用，涉及光刻膠樹脂單體領域，光刻膠樹脂單體的結構式為：1其中R2為甲基或者氫，R3為烷基,為碳原子數3?15的脂肪環(huán)，R為烷基。該樹脂單體能增加光刻膠的耐刻蝕性能，改善與晶圓的粘附力，并且能夠增加光刻膠在曝光前后的堿溶性差，有利于改善光刻膠的線邊緣粗糙度，提高分辨率。