一種光刻膠酸敏樹(shù)脂單體及其合成方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110688844.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113620921A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113620921A 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) C07D317/32（2006.01）I;C07D317/72（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;潘新剛;薛富奎;紀(jì)興躍;劉司飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州博康信息化學(xué)品有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥鴻知運(yùn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻膠酸敏樹(shù)脂單體及其合成方法和應(yīng)用，所述光刻膠樹(shù)脂單體的結(jié)構(gòu)式為：1其中R2為甲基或者氫，R3和R2獨(dú)立的為氫或者烷基，或者R3和R2之間通過(guò)共價(jià)鍵形成碳原子數(shù)3?15的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，R為酸敏基團(tuán)。該樹(shù)脂單體能提高分辨率，減小線寬粗糙度，粘附力好，耐刻蝕。