一種光刻膠酸敏樹脂單體及其合成方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110688844.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113620921A 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN113620921A 申請公布日 2021-11-09
分類號 C07D317/32（2006.01）I;C07D317/72（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;潘新剛;薛富奎;紀興躍;劉司飛 申請（專利權(quán)）人 徐州博康信息化學(xué)品有限公司
代理機構(gòu) 合肥鴻知運知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻膠酸敏樹脂單體及其合成方法和應(yīng)用，所述光刻膠樹脂單體的結(jié)構(gòu)式為：1其中R2為甲基或者氫，R3和R2獨立的為氫或者烷基，或者R3和R2之間通過共價鍵形成碳原子數(shù)3?15的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，R為酸敏基團。該樹脂單體能提高分辨率，減小線寬粗糙度，粘附力好，耐刻蝕。