一種光刻膠產(chǎn)酸樹脂單體及其合成方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110688917.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113429324A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113429324A 申請公布日 2021-09-24
分類號 C07C323/19（2006.01）I;C07C319/20（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;潘新剛;邵嚴(yán)亮;余文卿;陸偉 申請（專利權(quán)）人 徐州博康信息化學(xué)品有限公司
代理機構(gòu) 合肥鴻知運知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻膠技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種光刻膠產(chǎn)酸樹脂單體及其合成方法和應(yīng)用。所述樹脂單體的結(jié)構(gòu)為：1其中，R2為H或者甲基，R1為C12?C1的烷烴，L2、L1為二價連接鍵，A2、A3、A3、A3各自獨立的為F、H或者CF1，且A2、A3、A3、A3中至少有一個為F或者CF。本發(fā)明特定結(jié)構(gòu)的樹脂單體，光致產(chǎn)酸的锍鹽基團與不飽和丙烯酸酯連接，聚合后結(jié)合在樹脂上，可有效防止酸的擴散，并且其陰陽離子在同一個結(jié)構(gòu)中，進一步抑制了酸的擴散，能夠有效的降低線邊緣粗糙度，提高分辨率。