一種多層石墨烯的刻蝕方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610515119.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106128947B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-01-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106128947B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-29 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/306（2006.01）I; H01L21/3065（2006.01）I; G03F7/004（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李恕廣; 李泰朧; 王連軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 煙臺(tái)市烯能新材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 煙臺(tái)上禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉志毅 |
| 地址 | 264000 山東省煙臺(tái)市牟平區(qū)官莊4街2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種多層石墨烯的刻蝕方法，包括：A、在多層石墨烯的表面涂刷光刻膠，然后對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光處理，然后使用顯影液對(duì)光刻膠進(jìn)行清洗；B、根據(jù)刻蝕深度的不同，在光刻膠相應(yīng)的位置涂刷不同厚度的刻蝕緩沖劑；C、將多層石墨烯放入反應(yīng)腔室內(nèi)，腔室抽真空；向反應(yīng)腔室內(nèi)注入乙烷，然后對(duì)反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱，并開(kāi)啟射頻電源，對(duì)多層石墨烯的表面進(jìn)行第一次刻蝕；D、用去離子水對(duì)經(jīng)過(guò)第一次刻蝕的多層石墨烯進(jìn)行清洗，然后自然風(fēng)干；E、將多層石墨烯浸入酸性刻蝕液中，進(jìn)行第二次刻蝕；F、使用剝離液對(duì)多層石墨烯表面殘留的光刻膠進(jìn)行清除。本發(fā)明可以解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，實(shí)現(xiàn)了對(duì)于刻蝕過(guò)程的精確控制。 |
