一種表面缺陷檢測裝置和判斷表面缺陷所在表面的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110177653.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112986258A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112986258A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G01N21/88;G01N21/01 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王磊 申請（專利權(quán)）人 廈門威芯泰科技有限公司
代理機構(gòu) 廈門龍格專利事務所（普通合伙） 代理人 婁燁明
地址 361000 福建省廈門市集美區(qū)環(huán)珠路335號第五層之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種表面缺陷檢測裝置和判斷表面缺陷所在表面的方法，所述裝置用于檢測相對其沿第一方向運動的透明待測物體上的表面缺陷，其包括兩個光源和兩個相機；兩個光源關(guān)于待測物體表面的法平面對稱且均斜射待測物體表面以在待測物體表面形成重合的照射區(qū)；兩個相機均為線掃相機且均位于兩個光源的暗場，其光軸分別與待測物體表面具有垂直相交和傾斜相交關(guān)系且在照射區(qū)內(nèi)相交于同一交點并共同界定出垂直于所述法平面的平面；所述方法基于所述裝置并根據(jù)同一表面缺陷在兩個相機的合成圖像中顯現(xiàn)出的缺陷像的對應關(guān)系判斷該表面缺陷所在表面，尤其適用于沿所述第一方向具有一定尺度的表面缺陷。