表面缺陷顯像裝置和表面缺陷檢測設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110174946.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112964727A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112964727A 申請公布日 2021-06-15
分類號 G01N21/88;G01N21/01 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王磊 申請（專利權）人 廈門威芯泰科技有限公司
代理機構 廈門龍格專利事務所（普通合伙） 代理人 婁燁明
地址 361000 福建省廈門市集美區(qū)環(huán)珠路335號第五層之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了表面缺陷顯像裝置和表面缺陷檢測設備。表面缺陷顯像裝置包括光源和相機，光源設有垂直于待測物體運動方向的折邊，相機的光軸與折邊虛像垂直相交并與待測物體的第一表面交于第一點，過第一點且垂直于待測物體運動方向設有第一平面，過第一點和折邊設有第二平面，光軸與第一平面的第一夾角等于第一點至折邊的垂線與第一平面的第二夾角，且光源任何部分均不位于第一平面與第二平面之間的區(qū)域。表面缺陷檢測設備中表面缺陷檢測裝置將相機連續(xù)拍攝的圖像合成為合成圖像，并在識別到合成圖像中待測表面區(qū)域內(nèi)灰度值變化超過閾值時判定待測表面存在缺陷。上述方案能在光源距離待測物體表面較近的情況下避免干擾反射光對調(diào)制效果的影響。