一種固體潤滑多層復(fù)合膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510989894.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105568215B 公開（公告）日 2018-11-13
申請公布號 CN105568215B 申請公布日 2018-11-13
分類號 C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35;C23C28/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 韋春貝;代明江;侯惠君;林松盛;李琪;石倩;胡芳;趙利;曾威 申請（專利權(quán)）人 廣州有色金屬研究院
代理機構(gòu) 廣東世紀專利事務(wù)所有限公司 代理人 廣東省新材料研究所;廣東省科學(xué)院新材料研究所
地址 510651 廣東省廣州市天河區(qū)長興路363號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種固體潤滑多層復(fù)合膜及其制備方法。固體潤滑多層復(fù)合膜依次由基體（1）、金屬底層Me（2）、CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）和MoS2?Me層（5）構(gòu)成。其制備方法：采用磁控濺射方法，首先在基體（1）上沉積金屬底層（2），然后依次沉積CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）和MoS2?Me層（5），交替沉積形成多層結(jié)構(gòu)，最外層為MoS2?Me層（5）。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的固體潤滑復(fù)合膜具有結(jié)合強度高、摩擦系數(shù)低的性能特點，摩擦系數(shù)低至0.06，具有優(yōu)良的自潤滑、抗咬合性能和耐磨壽命，可應(yīng)用在軸承、齒輪、葉片、工模具等部件上。