用于陰極環(huán)修補的掩膜裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710365174.1 申請日 -
公開（公告）號 CN107452900B 公開（公告）日 2020-05-05
申請公布號 CN107452900B 申請公布日 2020-05-05
分類號 H01L51/56;H01L51/52 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 茆勝 申請（專利權(quán)）人 深圳守達恒信科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 深圳市瑞方達知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王少虹;許國興
地址 210000 江蘇省南京市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)興智路6號興智科技園C棟603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于陰極環(huán)修補的掩膜裝置及其使用方法，掩膜裝置包括掩膜版，所述掩膜版包括顯示區(qū)遮擋部、鏤空部以及加強筋，所述鏤空部通過所述加強筋連接在所述顯示區(qū)遮擋部的外圍。本發(fā)明的掩膜裝置，用于陰極環(huán)修補時的遮擋保護，避免陰極環(huán)的修補材料進入器件顯示區(qū)上而影響器件亮度及顯示均勻性等光電性能，避免了因采用濺射法制備金屬氧化物透明導電保護層時引起的黑點缺陷，從而可使用濺射、蒸鍍等各類PVD工藝實現(xiàn)陰極環(huán)保護，在最大程度上保證了器件的光輸出與工藝兼容性。