適用于藍(lán)寶石拋光的化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810561828.2 申請日 -
公開(公告)號 CN108997940B 公開(公告)日 2021-01-19
申請公布號 CN108997940B 申請公布日 2021-01-19
分類號 C09G1/02;B24B29/00 分類 染料;涂料;拋光劑;天然樹脂;黏合劑;其他類目不包含的組合物;其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 張澤芳;彭詩月 申請(專利權(quán))人 上海映智研磨材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張新鑫;許亦琳
地址 201799 上海市青浦區(qū)青安路958、968號4幢3層S區(qū)329室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種藍(lán)寶石襯底拋光的氧化鋁基的化學(xué)機(jī)械拋光液及其用途,所述化學(xué)機(jī)械拋光液至少包括以下重量份的組分:氧化鋁拋光顆粒:35~55份;氧化劑:5~12份;優(yōu)選為7~10份;速率促進(jìn)劑0.1~10份;分散劑2~5份;優(yōu)選為3~4份;pH調(diào)節(jié)劑適量,水適量。從機(jī)械角度和化學(xué)角度提高了拋光液的拋光速率,此外,氧化鋁分散性好,降低了表面缺陷如劃痕等的發(fā)生率,提高了表面質(zhì)量。