半導(dǎo)體襯底研磨拋光中蠟回收再利用的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811549877.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109722220B 公開（公告）日 2020-11-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN109722220B 申請(qǐng)公布日 2020-11-10
分類號(hào) C09J191/06;C09J11/04;C09J11/06 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 張澤芳;鞏強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海映智研磨材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張新鑫;許亦琳
地址 201799 上海市青浦區(qū)青安路958、968號(hào)4幢3層S區(qū)329室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體襯底研磨拋光中蠟回收再利用的方法，所述方法主要包括：去除回收蠟中的雜質(zhì)以及配置新蠟。本方法通用性強(qiáng)，可以針對(duì)不同原料組成的回收蠟實(shí)施，成本低，回收利用率可以達(dá)到80％以上，制得新蠟可以與市購蠟具有相當(dāng)?shù)男阅堋?/td>