晶圓盒與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111552490.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114078732A 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN114078732A 申請公布日 2022-02-22
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳慶 申請（專利權(quán)）人 合肥頎中科技股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 段友強
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)鳳里街166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種晶圓盒與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，所述晶圓盒，包括底壁、頂壁、連接所述底壁與頂壁的支撐壁，所述晶圓盒形成有用以儲放晶圓的儲物腔，所述儲物腔前側(cè)設(shè)有供晶圓取放的開口；所述晶圓盒還包括樞轉(zhuǎn)連接在所述支撐壁外側(cè)的限位件、驅(qū)使所述限位件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動桿及復(fù)位件；所述驅(qū)動桿用以在外力作用下驅(qū)使所述限位件沿背離所述開口的方向旋轉(zhuǎn)，打開開口；所述復(fù)位件設(shè)置在所述限位件與支撐壁之間并用以驅(qū)使所述限位件朝向所述開口旋轉(zhuǎn)，關(guān)閉開口。本申請晶圓盒及采用該晶圓盒的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備能夠有效避免晶圓掉落，減小物料損失，利于生產(chǎn)。