一種晶舟盒的開蓋裝置及其開蓋方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911333818.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111128817B 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN111128817B 申請公布日 2022-02-22
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙永會 申請（專利權）人 合肥頎中科技股份有限公司
代理機構 蘇州威世朋知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 秦蕾
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)鳳里街166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶舟盒的開蓋裝置和開蓋方法。所述開蓋裝置包括底座、轉(zhuǎn)盤和用以固定晶舟盒的固定元件，所述轉(zhuǎn)盤可旋轉(zhuǎn)地固定設置于所述底座上，所述固定元件安裝至所述轉(zhuǎn)盤上，并可在所述轉(zhuǎn)盤的作用下轉(zhuǎn)動。通過轉(zhuǎn)盤對固定元件的位置進行調(diào)整，方便人員操作晶舟盒，而固定元件采用斜坡式設計，使得放在固定元件上面的晶舟盒具有一定的傾斜角度，能夠防止晶片從晶舟盒中滑出，避免造成不必要的損失。